Bersaglio di sputtering di molibdeno

Purezza: la purezza dei target di molibdeno è un indicatore chiave delle loro prestazioni. In generale, la purezza dei target di molibdeno ad alta purezza può raggiungere il 99,95% o anche di più. L'elevata purezza garantisce la minimizzazione delle impurità durante il processo di deposizione del film sottile, migliorando così la qualità del prodotto finale.
Densità: una densità prossima alla densità teorica del molibdeno (10,22 g/cm³) è un segno di target di molibdeno di alta qualità. Una densità più elevata indica meno vuoti e una struttura stretta nel materiale, il che è fondamentale per migliorare la durata utile e la stabilità del materiale target.
Conduttività termica: la conduttività termica del molibdeno è di circa 138 W/m·K. Un'elevata conduttività termica è molto importante per il controllo della temperatura del target durante il rivestimento ad alta velocità, il che aiuta a prevenire il surriscaldamento e i danni strutturali del target.
Coefficiente di espansione termica: il molibdeno ha un basso coefficiente di espansione termica di circa 4,8×10^-6 / grado. Questa proprietà significa che il target di molibdeno ha una buona stabilità dimensionale alle variazioni di temperatura, il che aiuta a mantenere la consistenza e l'accuratezza del processo di deposizione del film.
Durezza e resistenza: il molibdeno ha una durezza Vickers di circa 2500 HV e un'elevata resistenza meccanica. Ciò consente al target di molibdeno di resistere allo shock meccanico durante il rivestimento ad alta velocità.
Planarità e rugosità della superficie: anche la planarità e la rugosità della superficie sono parametri importanti per valutare la qualità dei target di molibdeno. Un buon trattamento della superficie può ridurre la generazione di particelle durante l'uso del target e migliorare l'uniformità e la qualità del film depositato.

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