Quali precauzioni dovrebbero essere prese durante l'installazione del target, come spiegato da ZhenAn?
La precauzione più importante durante l'installazione del target è garantire una buona connessione termica tra il target e la staffa di raffreddamento della pistola a spruzzo.
Una grave deformazione della barra di raffreddamento o della piastra di supporto può causare la rottura o la piegatura del target durante l'installazione. Ciò può influenzare in modo significativo la conduttività termica dalla piastra di supporto al target, impedendo la dissipazione del calore durante lo sputtering e, infine, provocando la rottura o il deragliamento del target.
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Per garantire un'adeguata conduttività termica, è possibile posizionare uno strato di carta grafitata tra la doga di raffreddamento del catodo e il bersaglio. Ispezionare e verificare attentamente la planarità della staffa di raffreddamento della pistola a spruzzo e assicurarsi che l'anello di tenuta sia sempre in posizione.
A causa della pulizia dell'acqua di raffreddamento utilizzata e dello sporco che potrebbe generarsi durante il funzionamento dell'apparecchiatura, che si depositerà nel serbatoio dell'acqua di raffreddamento del catodo, il serbatoio dell'acqua di raffreddamento del catodo deve essere ispezionato e pulito durante l'installazione del materiale target per garantire una circolazione regolare dell'acqua di raffreddamento e che l'ingresso e l'uscita non siano bloccati.
Alcuni modelli di catodo hanno un piccolo spazio con l'anodo, quindi quando si installa il materiale target, è necessario assicurarsi che non vi sia contatto tra il catodo e l'anodo e nessun conduttore, altrimenti si verificherà un cortocircuito.
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