Metodo di metallurgia della polvere: polvere di molibdeno ad alta purezza (dimensione media delle particelle 5-10 μm) viene utilizzata come materia prima, la polvere di molibdeno viene premuta nella forma desiderata e quindi sinterizzata ad alta temperatura per renderla densa. Questo metodo è adatto per preparare obiettivi con forme complesse e la densità del ottenutobersaglio molibdenopuò raggiungere oltre il 99% del valore teorico.
Metodo di fusione: le materie prime molibdeno ad alta purezza vengono sciolte usando il forno di fusione a induzione del vuoto (VIM) e altre attrezzature per ottenere lingotti di molibdeno con buona uniformità a grana, come i lingotti di molibdeno con un diametro di φ300mm, la cui uniformità del grano può essere migliorata del 30%.
MACCHING: MACCHINING DI PRESIZIONE come taglio, lucidatura e formazione di spazi bersaglio molibdeno sinterizzato o fuso per ottenere specifiche precise e requisiti di qualità della superficie, come la piattalità inferiore o uguale a {0}}. 05mm (φ100mm) e strumenti di diamante PCD sono usati per l'elaborazione, con un elaborazione di accuratezza di ± 0.01mm.
Trattamento superficiale: la lucidatura elettrolitica e altri processi vengono generalmente utilizzati per trattare la superficie del materiale target di molibdeno per rendere la rugosità superficiale RA inferiore o uguale a 0. 2μm per soddisfare i requisiti del rivestimento di sputtering ad alta precisione.
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