Introduzione alle proprietà meccaniche degli obiettivi di Tantalum
Le proprietà meccaniche diobiettivi di tantalioincludono principalmente resistenza alla trazione, carico di snervamento e allungamento.
Sensile di resistenza: gli obiettivi di Tantalum hanno un'elevata resistenza alla trazione, il che significa che possono resistere a grandi forze di trazione senza rompersi facilmente. Questa funzionalità fa sì che gli obiettivi di Tantalum funzionino bene in situazioni in cui devono resistere alle forze di trazione ad alta resistenza.
Resistenza allo snervamento: anche la resistenza allo snervamento degli obiettivi di tantalio è relativamente elevata, indicando che può ancora mantenere una buona stabilità strutturale quando sottoposto a una certa pressione. Questa caratteristica consente ai bersagli al tantalio di mantenere le loro prestazioni sotto alta pressione.
Allungamento: l'allungamento dei bersagli al tantalio è moderato, indicando che ha una certa capacità di deformarsi plasticamente durante l'allungamento. Ciò facilita l'applicazione di target al tantalio nella lavorazione di forme complesse, garantendone al tempo stesso la robustezza e l'affidabilità quando sottoposti a forza.
Parametri del prodotto target per lo sputtering al tantalio
| Spessore | Tolleranza | Larghezza | Tolleranza | Lunghezza | Tolleranza | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| GradoⅠ | Gradoⅱ | |||||
| 3-8 | ±0.1 | ±0.2 | 50-400 | ±0.2 | 50-1500 | ±0.2 |
| 8-14 | ±0.1 | ±0.2 | 50-350 | ±0.2 | 50-1200 | ±0.2 |
| Maggiore o uguale a 14 | ±0.1 | ±0.2 | 50-300 | ±0.2 | 50-1000 | ±0.2 |
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